SAW-positionering

Electronics Micro system technology MEMS/NEMS Optics
IOP by P.C. Breedveld 13 November 2008

Wanneer een ultrasone motor op een juiste manier golven in een oppervlak opwekt, komt een op de golftoppen rustende slider in beweging. Dat is het bewegingsprincipe van de Surface Acoustic Wave (SAW) motor. In dit IOP-project is aangetoond dat zo’n SAW-motor geschikt is om met aanzienlijke nauwkeurigheid te positioneren. Daarnaast leverde het onderzoek een schat aan inzichten op. “Zo’n diepgaande analyse was niet eerder gedaan.”


References

Lunch Lecture April hosted by…

Theme: Concept optimization of system dynamics of a lithography tool.

Read more
Historical view on determinism and…

Paralleling the historical beginnings of modern science, assessing and addressing variation in physical systems constitutes the foundation of precision engineering. Tycho Brahe gave us the measurement data to analyse the heavens.

Read more
Sensor for picometer-scale positioning in…

As technology reaches the atomic and quantum scale, sub-nanometer motion control is no longer optional – it is a necessity, often in vacuum environments where even the smallest disturbances are effectively suppressed.

Read more