Prototype-ontwikkeling van een ultra-precisie 3D-coordinaten meetmachine

Micro system technology MEMS/NEMS Precision-technology Sensors
Mikroniek 4-2000 by M. Vermeulen 27 April 2006

In de huidige wereld van de precisietchnologie worden producten steeds complexer en hun toleranties steeds hoger. Voor een toenemende klaase van producten wordt een hogere meetnauwkeurigheid verlangd. Hoewel schaalverkleining van conventionele 3D-Coordinaten Meetmachines (CCM) het effect van systemeatische afwijkingen verklient, wordt de oorzaak van deze afwijkingen hierdoor niet geelimineerd. Een principieel hogere nauwkeurigheid kan worden bereikt indien deze afwijkingen worden voorkomen.


References

Lunch Lecture April hosted by…

Theme: Concept optimization of system dynamics of a wafer metrology tool

Read more
Historical view on determinism and…

Paralleling the historical beginnings of modern science, assessing and addressing variation in physical systems constitutes the foundation of precision engineering. Tycho Brahe gave us the measurement data to analyse the heavens.

Read more
Sensor for picometer-scale positioning in…

As technology reaches the atomic and quantum scale, sub-nanometer motion control is no longer optional – it is a necessity, often in vacuum environments where even the smallest disturbances are effectively suppressed.

Read more