Precisietechnologie kan niet meer zonder luchtbehandeling

Precision-technology
Mikroniek 6-2003 by F. Zuurveen 27 April 2006

IC’s, CD’s en DVD’s met details van enkele tiende ?m’s. Vandaag de dag doen we alsof het fabriceren van die high-tech-producten de gewoonste zaak van de wereld is. Maar een van de voorwaarden is dat de productiefaciliteit aan de hoogste graden van stofvrijheid en stabiliteit van temperatuur en vochtigheid voldoet. Daaruit volgt dat bedrijven die apparatuur leveren voor het maken van IC’s en optische media, ook niet zonder luchtbehandeling in hun montageruimten kunnen. Met nog een stap verder komen we terecht bij machine- en optiekfabrieken die de onderdelen ervoor leveren. Omdat de klant eist dat zij hun producten schoon en stofvrij afleveren, ontkomt ook een toeleverancier niet aan het installeren, huren of medegebruiken van stofvrije ruimten oftewel cleanrooms.


References

Lunch Lecture April hosted by…

Theme: Concept optimization of system dynamics of a wafer metrology tool

Read more
Historical view on determinism and…

Paralleling the historical beginnings of modern science, assessing and addressing variation in physical systems constitutes the foundation of precision engineering. Tycho Brahe gave us the measurement data to analyse the heavens.

Read more
Sensor for picometer-scale positioning in…

As technology reaches the atomic and quantum scale, sub-nanometer motion control is no longer optional – it is a necessity, often in vacuum environments where even the smallest disturbances are effectively suppressed.

Read more