Piezo-elektrische draaitafel

Control Precision-technology
Mikroniek 5-1996 by E.de Haas, W.Barsingerhorn, J.F. van der Veen 27 April 2006

Een compacte, nauwkeurige, piezo-electrisch aangedreven draaitafel is ontwikkeld voor bedrijf in ultrahoog vacuum. Het aandrijfmechanisme bestaat uit twee gecombineerde knijp- en duwbewegingen. Het koppel van de aandrijving bedraagt 0,7 Nm. De tafel kan links- en rechtsom draaien in stapjes van 1,3 milligraad, met een maximum snelheid van een omwenteling per twee minuten.


References

Wim van der Hoek Award…

This year, the jury has received four nominations for students who applied existing or new design principles in their graduation work in an exciting manner.

Read more
Over 350 exhibitors, 6 themes…

The 2024 edition has six central themes: Mechatronic Engineering & Systems, Metrology, Vacuum & Clean, Micro Processing & Motion, Laser & Photonics, and Production for High Precision.

Read more
Nonlinear control takes over?

The ever increasing demands on precision and throughput in semiconductor manufacturing machines challenge today's linear control designs.

Read more