Piezo-elektrische aandrijvingen

Manufacturing
Mikroniek 1-1999 by M.P. Koster 27 April 2006

Pi?zo-elektrische actuatoren worden steeds belangrijker. Hun voordelen – eenvoudige constructie en snelle reactietijd – gaan helaas gepaard met het bezwaar van een kleinde slag. In dit artikel wordt beschreven hoe het ontwerp van heen- en weergaande pi?zo-elektrische aandrijvingen kan worden geoptimaliseerd. Het artikel eindigt met een overzicht van pi?zo-elektrische aandrijvingen waarin door een kunstgreep het bezwaar van een kleine slag is ondervangen.


References

Lunch Lecture April hosted by…

Theme: Concept optimization of system dynamics of a wafer metrology tool

Read more
Historical view on determinism and…

Paralleling the historical beginnings of modern science, assessing and addressing variation in physical systems constitutes the foundation of precision engineering. Tycho Brahe gave us the measurement data to analyse the heavens.

Read more
Sensor for picometer-scale positioning in…

As technology reaches the atomic and quantum scale, sub-nanometer motion control is no longer optional – it is a necessity, often in vacuum environments where even the smallest disturbances are effectively suppressed.

Read more