Picodriftmeter en verplaatsingsinterferometrie – Summary

Precision-technology Sensors
IOP by Rob Munnig Schmidt, Dario Lo Cascio 28 October 2010

De lengtemeettechniek is zo ver geëvolueerd, dat hinder ontstaat door onbedoelde beweging – drift – op picometerniveau. Het IOP-project Picodriftmeter ontwikkelde een platform om deze picodrift te kunnen meten en een frequentiegestabiliseerde 3-frequentielaser. Daarbij is nauw samengewerkt met de onderzoekers van het gelijktijdig uitgevoerde IOP-project Verplaatsingsinterferometrie met sub-nanometer onzekerheid. Dit project – een vervolg op het eerder in Eindhoven uitgevoerde IOP-project Sub-nanometer interferometrie – resulteerde in een compacte laserinterferometer zonder periodieke fouten (< 20 pm) en met een dubbele resolutie dan een standaardinterferometer; op het ontwerp is patent aangevraagd. Andere resultaten zijn een redesign voor een vier keer zo korte Fabry-Pérot cavity en een gestabiliseerde lasergolflengtebron, die zich automatisch aanpast aan de veranderende brekingsindex in lucht.


References

Wietse Maas (ASML) receives Wim…

Prize for new design principle for passive damping. During the 24th edition of the Precision Fair in Den Bosch (NL), the Wim van der Hoek Award was presented under the auspices of DSPE (Dutch Society for Precision Engineering).

Read more
Ir. A. Davidson Award 2025…

Prize for system designer, inventor, connector and inspiring mentor

Read more
Successful DSPE Knowledge Day Opto-Mechanics…

Achieving ever higher accuracy in inspection and metrology depends on the interplay between light wavelength and advanced opto-mechatronic systems.

Read more