Kunststof MEMS-structuren

Het basismateriaal van MEMS is vrijwel altijd silicium, een dure grondstof die kostbare verwerkingsstappen vereist. Het zou veel goedkoper zijn als MEMS-structuren van kunststof worden gemaakt. Onderzoekers van de TU/e bogen zich over de vraag hoe je actieve microstructuren en masse in kunststof kunt aanbrengen en ontwikkelden een demonstrator, gebaseerd op drie dunne lagen. Onderzoek naar assemblagemethodes vindt nog plaats.

Download IOP

Back to overview

We use cookies to improve your experience on our website

References ...

Going for ECP2 Gold: A journey of technical growth and lifelong learning

In June, Moiz Hyderabadwala, Senior Researcher at ASML Research, received the ECP2 Silver certificate, awarded through the European Certified Precision Engineering Course Programme (ECP2), a collaboration between Euspen and DSPE.

Mastering thin metal production for mass-manufactured energy systems

The successful transition to a sustainable energy future hinges on the industrialisation of advanced energy-conversion technologies.

Mikroniek June 2026: Design for Sustainability

The June issue of Mikroniek is devoted to Design for Sustainability. The main theme article presents the challenges of thin metal production for mass-manufactured energy systems.