Kunststof MEMS-structuren

Het basismateriaal van MEMS is vrijwel altijd silicium, een dure grondstof die kostbare verwerkingsstappen vereist. Het zou veel goedkoper zijn als MEMS-structuren van kunststof worden gemaakt. Onderzoekers van de TU/e bogen zich over de vraag hoe je actieve microstructuren en masse in kunststof kunt aanbrengen en ontwikkelden een demonstrator, gebaseerd op drie dunne lagen. Onderzoek naar assemblagemethodes vindt nog plaats.

Download IOP

Back to overview

We use cookies to improve your experience on our website

References

Techcafé met als thema Manufacturability

Dé plek om ongedwongen nieuwe contacten op te doen én onder het genot van een borrel en bitterbal te sparren over tech onderwerpen.

Marriage of opto-mechatronics and electron…

This year’s DSPE Opto-Mechatronics Symposium attracted some 100 participants from academia and industry, all of whom seized the opportunity for networking, meeting technical peers, and visiting an interesting small-scale exhibition.

Working with LEM and FEM…

The phenomenon of thermal drift compromises precision as a result of thermal expansion or contraction of components, caused by small variations in temperature.