Het structureren van glas met behulp van etstechnieken

Manufacturing Materials
Mikroniek 1-1984 by U. Bierman, J.J.H.E. van Hoof 27 April 2006

Het bewerken, misschien beter, het behandelen van glas met behulp van een chemisch etsmiddel, is niet nieuw. Deze processen worden veelvuldig en al lang voor het schoonmaken of het matteren van glasoppervlakken toegepast. Het precisie bewerken van glas met behulp van de combinatie van fotolithografie en etstechnieken, waarbij aan de gerealiseerde structuren vaak ook nog hoge kwaliteitseisen worden gesteld, heeft pas in de laatste jaren duidelijker gestalte gekregen. Twee structuurtypen zijn te onderscheiden: structuren die zich op het oppervlak bevinden en die te realiseren zijn door het hele oppervlak, met uitzondering van de gedeeltes waar zich de structuren bevinden, weg te etsen en structuren die in het glassubatraat ge?tst zijn.


References

Our DSPE chairman Hans Krikhaar…

๐—ช๐—ฒ ๐—ฎ๐—ฟ๐—ฒ ๐—ฝ๐—ฟ๐—ผ๐˜‚๐—ฑ ๐˜๐—ผ ๐—ฎ๐—ป๐—ป๐—ผ๐˜‚๐—ป๐—ฐ๐—ฒ ๐˜๐—ต๐—ฎ๐˜ ๐——๐—ฆ๐—ฃ๐—˜ ๐—ฃ๐—ฟ๐—ฒ๐˜€๐—ถ๐—ฑ๐—ฒ๐—ป๐˜ ๐—›๐—ฎ๐—ป๐˜€ ๐—ž๐—ฟ๐—ถ๐—ธ๐—ต๐—ฎ๐—ฎ๐—ฟ ๐—ต๐—ฎ๐˜€ ๐—ฟ๐—ฒ๐—ฐ๐—ฒ๐—ถ๐˜ƒ๐—ฒ๐—ฑ ๐—ฎ ๐—š๐—ฒ๐—ฟ๐—ฎ๐—ฟ๐—ฑ & ๐—”๐—ป๐˜๐—ผ๐—ป ๐—›๐—ถ๐—ด๐—ต ๐—ง๐—ฒ๐—ฐ๐—ต ๐—ฆ๐˜๐—ฎ๐—ฟ ๐—”๐˜„๐—ฎ๐—ฟ๐—ฑ ๐Ÿฎ๐Ÿฌ๐Ÿฎ๐Ÿฒ!

Read more
Lunch lecture February hosted by…

Title: Piezoelectric wafer stage โ€“ for electron beam inspection systems

Read more
Sensitivity analysis in Opto-Mechanical System…

As a mechatronics engineer at VDL ETG Technology & Development in Almelo (NL), Leon Nijenhuis got involved with opto-mechanics when working on aerospace projects. One of his duties was the design of an alignment tool for laser satellite communication.

Read more