Het structureren van glas met behulp van etstechnieken

Manufacturing Materials
Mikroniek 1-1984 by U. Bierman, J.J.H.E. van Hoof 27 April 2006

Het bewerken, misschien beter, het behandelen van glas met behulp van een chemisch etsmiddel, is niet nieuw. Deze processen worden veelvuldig en al lang voor het schoonmaken of het matteren van glasoppervlakken toegepast. Het precisie bewerken van glas met behulp van de combinatie van fotolithografie en etstechnieken, waarbij aan de gerealiseerde structuren vaak ook nog hoge kwaliteitseisen worden gesteld, heeft pas in de laatste jaren duidelijker gestalte gekregen. Twee structuurtypen zijn te onderscheiden: structuren die zich op het oppervlak bevinden en die te realiseren zijn door het hele oppervlak, met uitzondering van de gedeeltes waar zich de structuren bevinden, weg te etsen en structuren die in het glassubatraat ge?tst zijn.


References

Techcafé met als thema Manufacturability

Dé plek om ongedwongen nieuwe contacten op te doen én onder het genot van een borrel en bitterbal te sparren over tech onderwerpen.

Read more
Marriage of opto-mechatronics and electron…

This year’s DSPE Opto-Mechatronics Symposium attracted some 100 participants from academia and industry, all of whom seized the opportunity for networking, meeting technical peers, and visiting an interesting small-scale exhibition.

Read more
Working with LEM and FEM…

The phenomenon of thermal drift compromises precision as a result of thermal expansion or contraction of components, caused by small variations in temperature.

Read more