Fotochemische metaalbewerkingen

Chemical technology Manufacturing Micro system technology MEMS/NEMS
Mikroniek 3-1991 by F.Rongen 27 April 2006

De sectie Micro-techniek van de Faculteit der Werktuigbouwkunde en Maritieme techniek van de T.U. Delft heeft de beschikking over een laboratorium voor Micro-bewerkingen. in dit Iaboratorium is een uitgebreide faciliteit voor fotochemische metaalbewerkingen ondergebracht. De techniek van foto-etsen is bii uitstek geschikt om op snelle wijze fijnmechanischeconstructie-elementen te vervaardigen uit dun plaatmateriaal. Ook structuren in opgedampte lagen en flexibel printmateriaal kunnen worden ge?tst.


References

Lunch Lecture April hosted by…

Theme: Concept optimization of system dynamics of a lithography tool.

Read more
Historical view on determinism and…

Paralleling the historical beginnings of modern science, assessing and addressing variation in physical systems constitutes the foundation of precision engineering. Tycho Brahe gave us the measurement data to analyse the heavens.

Read more
Sensor for picometer-scale positioning in…

As technology reaches the atomic and quantum scale, sub-nanometer motion control is no longer optional – it is a necessity, often in vacuum environments where even the smallest disturbances are effectively suppressed.

Read more