Positie-actuator op basis van oppervlakte-akoestische golven

Electronics Medical technology Precision-technology
Mikroniek 6-2006 by P.J. Feenstra en P.C. Breedveld 22 July 2007

Oppervlakte-akoestische golven (Engels: Surface Acoustic Waves, afgekort SAW) kunnen worden gebruikt om een mechanische beweging op te wekken. Dit artikel, voortkomend uit een IOP-project, beschrijft het werkingsprincipe van een SAW-motor. Verder worden van een experimentele versie van een dergelijke motor voor lineaire beweging de onderdelen, de aansturing en een aantal resultaten beschreven. Potentiรซle toepassingen van de SAW-motor zijn onder meer positionering van kleine spiegels, lenzen, lasers en sensoren in optische opstellingen, positionering van samples in (elektronen)microscopen voor inspectie en materiaalonderzoek, actuatoren met extreme eisen qua (lage) elektromagnetische velden en actuatoren voor in de ruimte.


References

Our DSPE chairman Hans Krikhaar…

๐—ช๐—ฒ ๐—ฎ๐—ฟ๐—ฒ ๐—ฝ๐—ฟ๐—ผ๐˜‚๐—ฑ ๐˜๐—ผ ๐—ฎ๐—ป๐—ป๐—ผ๐˜‚๐—ป๐—ฐ๐—ฒ ๐˜๐—ต๐—ฎ๐˜ ๐——๐—ฆ๐—ฃ๐—˜ ๐—ฃ๐—ฟ๐—ฒ๐˜€๐—ถ๐—ฑ๐—ฒ๐—ป๐˜ ๐—›๐—ฎ๐—ป๐˜€ ๐—ž๐—ฟ๐—ถ๐—ธ๐—ต๐—ฎ๐—ฎ๐—ฟ ๐—ต๐—ฎ๐˜€ ๐—ฟ๐—ฒ๐—ฐ๐—ฒ๐—ถ๐˜ƒ๐—ฒ๐—ฑ ๐—ฎ ๐—š๐—ฒ๐—ฟ๐—ฎ๐—ฟ๐—ฑ & ๐—”๐—ป๐˜๐—ผ๐—ป ๐—›๐—ถ๐—ด๐—ต ๐—ง๐—ฒ๐—ฐ๐—ต ๐—ฆ๐˜๐—ฎ๐—ฟ ๐—”๐˜„๐—ฎ๐—ฟ๐—ฑ ๐Ÿฎ๐Ÿฌ๐Ÿฎ๐Ÿฒ!

Read more
Lunch lecture February hosted by…

Title: Piezoelectric wafer stage โ€“ for electron beam inspection systems

Read more
Sensitivity analysis in Opto-Mechanical System…

As a mechatronics engineer at VDL ETG Technology & Development in Almelo (NL), Leon Nijenhuis got involved with opto-mechanics when working on aerospace projects. One of his duties was the design of an alignment tool for laser satellite communication.

Read more