Piezo-stapper met submicron nauwkeurigheid

Voor bewerkingen met sub-micrometer nauwkeurigheid zijn de bestaande traditionele geledingen van sleden ongeschikt. Door het ontwikkelen van een piezo-elektrisch aangedreven wandelmechanisme wordt de benodigde nauwkeurigheid tezamen met een hoge stijfheid gerealiseerd. Voor een vloeiend verlopende aanduiding is een regelaar ontwikkeld die er voor zorgt dat er tijdens het wandelen geen hameren voorkomt.