Nauwkeurig hoekmeetsysteem voor ultrahoog vacuum

Sensors
Mikroniek 6-1996 by E. de Haas, W.Barsingerhorn, R.S.Mastenbroek, J.Sturre, J.F. van der Veen 27 April 2006

Met name in de oppervlaktefysica is er een toenemende behoefte aan nauwkeurige compatibele hoekmeetsystemen met stappen van een milligraad of kleiner in een ultrahoog vacuum omgeving. Mogelijke toepassingen treft men thans vooral aan bij synchrotronstralingsfaciliteiten, zowel in het rontgendiffractie-onderzoek aan kristaloppervlakken als in de rontgenoptica, waar nauwkeurige hoekmeting van belang is voor het positioneren van rontgen-monochromatoren en spiegels. Een meetsysteem is ontwikkeld voor de uitlezing van de hoekstand van een goniometer in ultrahoog vacuum(UHV). De hoekmeting geschiedt door het fotoelecktisch aftasten van een op de goniometer gemonteerde verdeelschijf.


References

Lunch Lecture April hosted by…

Theme: Concept optimization of system dynamics of a lithography tool.

Read more
Historical view on determinism and…

Paralleling the historical beginnings of modern science, assessing and addressing variation in physical systems constitutes the foundation of precision engineering. Tycho Brahe gave us the measurement data to analyse the heavens.

Read more
Sensor for picometer-scale positioning in…

As technology reaches the atomic and quantum scale, sub-nanometer motion control is no longer optional – it is a necessity, often in vacuum environments where even the smallest disturbances are effectively suppressed.

Read more