Nauwkeurig hoekmeetsysteem voor ultrahoog vacuum

Sensors
Mikroniek 6-1996 by E. de Haas, W.Barsingerhorn, R.S.Mastenbroek, J.Sturre, J.F. van der Veen 27 April 2006

Met name in de oppervlaktefysica is er een toenemende behoefte aan nauwkeurige compatibele hoekmeetsystemen met stappen van een milligraad of kleiner in een ultrahoog vacuum omgeving. Mogelijke toepassingen treft men thans vooral aan bij synchrotronstralingsfaciliteiten, zowel in het rontgendiffractie-onderzoek aan kristaloppervlakken als in de rontgenoptica, waar nauwkeurige hoekmeting van belang is voor het positioneren van rontgen-monochromatoren en spiegels. Een meetsysteem is ontwikkeld voor de uitlezing van de hoekstand van een goniometer in ultrahoog vacuum(UHV). De hoekmeting geschiedt door het fotoelecktisch aftasten van een op de goniometer gemonteerde verdeelschijf.


References

Lunch lecture January hosted by…

Machine Learning-Based Feedforward Control Using ILC

Read more
Wietse Maas (ASML) receives Wim…

Prize for new design principle for passive damping. During the 24th edition of the Precision Fair in Den Bosch (NL), the Wim van der Hoek Award was presented under the auspices of DSPE (Dutch Society for Precision Engineering).

Read more
Ir. A. Davidson Award 2025…

Prize for system designer, inventor, connector and inspiring mentor

Read more