Multi-as microstage met subnanometer resolutie

Het manipuleren van zeer kleine substraten (omvang micrometers of kleiner) is momenteel alleen mogelijk met relatief grote manipulatoren (omvang decimeters). Dit heeft een aantal nadelen zoals ruimtegebruik en dynamica. De vraag naar micromanipulatoren wordt urgenter met het toenemende belang van microsystemen zoals ?MEMS? en ?MOEMS?. Miniaturisatie van de bestaande manipulatoren stuit op een tweetal problemen. Ten eerste leggen de micro-fabricagetechnieken beperkingen op en ten tweede zijn de noodzakelijke sensoren niet op micro-schaal beschikbaar. Om tot robuuste micromanipulatoren te komen lijkt het noodzakelijk om een juiste synthese te vinden tussen precisie- en microfabricagetechnologie