Kosteneffectief assembleren van microsystemen

Micro system technology MEMS/NEMS
Mikroniek 2-2004 by J.E. Bullema 27 April 2006

Realiseren van microsu\systemen vraagt een multidisciplinaire aanpak. In het ontwerp speelt een groot aantal verschillende aspecten een rol. Op het gebied van micro-assemblage worden door TNO verschillende onderzoeken uitgevoerd, die ertoe moeten leiden dat het mogelijk wordt om microsystemen van verschillende aard kosteneffecties te kunnen assembleren.


References

Lunch Lecture April hosted by…

Theme: Concept optimization of system dynamics of a wafer metrology tool

Read more
Historical view on determinism and…

Paralleling the historical beginnings of modern science, assessing and addressing variation in physical systems constitutes the foundation of precision engineering. Tycho Brahe gave us the measurement data to analyse the heavens.

Read more
Sensor for picometer-scale positioning in…

As technology reaches the atomic and quantum scale, sub-nanometer motion control is no longer optional – it is a necessity, often in vacuum environments where even the smallest disturbances are effectively suppressed.

Read more