Micropompen op basis van micromechanische technieken

F.C.M. van de Pol

Bron:Mikroniek 1-1990
Disciplines:ControlMechanicsMicro system technology MEMS/NEMS

Dit artikel geeft een overzicht van bestaande micromechanische pompen. Het is een historische beschrijving, beginnend met het werk van Wallmark en Smits (Stanford University) begin jaren 80, gevolgd door een aantal projecten uitgevoerd door Smits, Groothengel, Hartevelt, Huizing, Van Lintel en schrijver dezes (Universiteit Twente) in de periode 1983-1989 en eindigend met recent onderzoek van Shoji en Esashi (Tohoku University Japan). Daarna volgt een korte vergelijkende beschouwing van de verschillende types. We besluiten met mogelijke toepassingen.

 

90-1-017.pdf

Back to overview