Marco Wieland (Mapper Lithography) ontvangt de Martin van den Brink Award

7 June 2018

Prijs voor ‘technisch geweten’ elektronenbundellithografie


Marco Wieland (Mapper Lithography) heeft vandaag de Martin van den Brink Award ontvangen. 

 

De uitreiking van deze systeemarchitectuurprijs vond plaats in het Evoluon in Eindhoven tijdens een galadiner als onderdeel van de Dutch Technology Week. De organisator is de Dutch Society for Precision Engineering (DSPE) met medewerking van Brainport Industries. Marco Wieland is CTO en medeoprichter van Mapper Lithography in Delft. Hij fungeert als 'technisch geweten' bij de ontwikkeling van elektronenbundellithografie tot volwaardige aanvulling op de optische lithografie. Die optische lithografie is de technologie waarmee het ASML van Martin van den Brink is uitgegroeid tot wereldmarktleider.


Systeemarchitectuur
Het succes van de Nederlandse high-tech industrie komt mede op het conto van het denken in termen van systeemarchitectuur. Op een hoog abstractieniveau beschrijft de systeemarchitectuur het ontwerp voor een complexe machine die meestal uit meerdere modules is opgebouwd. De systeemarchitect is verantwoordelijk voor dit ontwerp op hoofdlijnen en coördineert de inbreng van alle disciplines. Hij zorgt dat de verschillende modules, die grotendeels door toeleveranciers worden gebouwd en tegenwoordig ook mede-ontwikkeld, worden samengevoegd tot een optimaal werkende machine.


Martin van den Brink
De succesvolste exponent van het systeemarchitectuurdenken is het Veldhovense ASML, dat in 1984 voortkwam uit Philips en is uitgegroeid tot wereldmarktleider voor lithografiemachines. Lithografie is de cruciale, prestatiebepalende productiestap voor halfgeleiderchips. Het is mede te danken aan de machines van ASML, die werken met een optisch proces voor het 'schrijven' van de ongekend kleine halfgeleiderstructuren, dat we tegenwoordig tablets, smartphones en andere high-tech elektronicaproducten hebben. Vanaf de start in 1984 heeft Martin van den Brink bij ASML, tegenwoordig als President en Chief Technology Officer, een belangrijke bijdrage aan de ontwikkeling van de optische lithografie

geleverd.

Marco Wieland links en Martin van den Brink rechts 

Award
Om het belang van systeemarchitectuur te onderstrepen, is in 2012 de Martin van den Brink Award ingesteld op initiatief van DSPE, TNO, Brainport Industries, High Tech Systems Platform, Point-One en High Tech Campus Eindhoven. De eerste award werd datzelfde jaar uitgereikt aan Erik Loopstra, systeemarchitect bij ASML. In 2016 ging de prijs naar Jan van Eijk, voormalig CTO Mechatronics bij Philips Applied Technologies en emeritus hoogleraar Advanced Mechatronics aan de TU Delft. Voor de derde uitreiking organiseerde DSPE met medewerking van Brainport Industries een galadiner in het Evoluon te Eindhoven als onderdeel van de Dutch Technology Week. Liefst 180 gasten van high-tech bedrijven schoven donderdagavond 7 juni aan voor het diner en de prijsuitreiking. Naamgever Martin van den Brink reikte de prijs uit aan ir. Marco Wieland vanwege zijn cruciale rol bij de ontwikkeling van elektronenbundellithografie.


Marco Wieland
Marco Wieland studeerde van 1993 tot 1999 Technische Natuurkunde aan de TU Delft en deed zijn afstudeeropdracht in de groep van prof. Pieter Kruit, hoogleraar in de optica van geladen deeltjes. Na zijn afstuderen richtte Wieland in 2000 samen met studiegenoot Bert Jan Kampherbeek en hoogleraar Kruit een bedrijf op, Mapper Lithography. Toen ideeën voor verbetering van de maskergebaseerde optische lithografie niet tot succesvolle uitwerking kwamen, gingen ze zich toeleggen op maskerloze elektronenbundellithografie. Deze alternatieve techniek schrijft rechtstreeks structuren op halfgeleiderwafers met behulp van tienduizenden parallelle elektronenbundels. Dat maakt de dure optiek en maskers van optische lithografie overbodig, maar kent zelf weer heel andere uitdagingen, zoals de razendsnelle besturing en magnetische afscherming van de elektronenbundels, naast bekende 'issues' zoals trillingsisolatie, geavanceerde metrologie en beheersing van warmtedissipatie.
Inmiddels heeft Mapper nanometernauwkeurigheid aangetoond voor zowel de positionering van de wafertafel als de besturing van de elektronenbundels en draait er een eerste alfa-machine in de cleanroom van het Franse LETI. Voor de commercialisering van de techniek zijn verdere verhoging van de waferdoorvoersnelheid en verlaging van de kostprijs aanvullende opgaven.
Als CTO is Wieland, samen met COO Guido de Boer, eindverantwoordelijke voor de architectuur van de Mapper-machine, de ontwikkelingsroadmap van het bedrijf en de uitwerking van de diverse technische oplossingen. Zijn bijdragen daaraan zijn vastgelegd in tientallen patenten. Kortom, alle reden voor de jury om namens DSPE Marco Wieland te onderscheiden met de Martin van den Brink Award 2018.